高精準(zhǔn)、可重復(fù)的溫度是微電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)的決定性因素。我們的工藝恒溫器和制冷器是電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域眾多應(yīng)用的理想選擇。加熱和制冷系統(tǒng)具有許多優(yōu)點:
在半導(dǎo)體和電子領(lǐng)域,我們的溫控設(shè)備可用于例如濕化學(xué)生產(chǎn)晶圓和微芯片的蝕刻槽的溫度控制。其他應(yīng)用包括半導(dǎo)體涂層中的金屬游記氣相沉積(MOCVD),以及使用Galden或FC77等非導(dǎo)電導(dǎo)熱液體對電器和電子元件及功能組件進行溫度相關(guān)的功能和材料測試。
我們的溫度控制器可確保電子元件和半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的高精準(zhǔn)恒定溫度。在要求越來越高的微電路生產(chǎn)過程中,可重復(fù)的溫度是保證生產(chǎn)質(zhì)量穩(wěn)定的關(guān)鍵因素。我們的溫度控制技術(shù)在眾多工業(yè)領(lǐng)域都以可靠、高精準(zhǔn)的溫度控制而著稱。工藝恒溫器和制冷器提高了微電子和半導(dǎo)體元件生產(chǎn)的效率和質(zhì)量。
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